产品型号：Sinomer® ADAMA
化学名称：甲基丙烯酸-1-金刚烷酯 (1-Adamantyl Methacrylate / ADAMA)
CAS 编号：16887-36-8
分子式：C14H20O2
分子量：220.31 g/mol
产品概述：Sinomer® ADAMA (CAS 16887-36-8) 是一种含有三维笼状刚性金刚烷环的特种甲基丙烯酸酯单体。金刚烷结构赋予材料极高的耐等离子体干法刻蚀性能、优异的耐热变形稳定性 (高 Tg)、低吸水率与在 193 nm 紫外波段极高的光学透明度，是制造半导体集成电路 193 nm (ArF) 浸没式与干式光刻胶基体聚合物的核心单体。
| 外观性状 | 白色均匀结晶粉末 (White crystal powder) |
| 纯度指标 (GC/HPLC) | ≥ 98.0 % (电子级) |
| 熔点范围 | 34.0 - 36.0 ℃ |
| 密度 (参考值) | 1.07 g/cm³ |
| 沸点 (参考值) | 308.2 ℃ |
| 闪点 (参考值) | 135.5 ℃ |
● 卓越的耐等离子体干法刻蚀性能：高碳氢比笼状金刚烷骨架提供顶尖的耐等离子体轰击能力。
● 超高 193nm 光学透明度：在 193 nm 远紫外波段吸收极低，确保光刻胶图形曝光的高保真度与垂直陡度。
● 高玻璃化转变温度与低收缩：显著提升树脂耐热性，消除纳米图案显影热变形。
● 193 nm (ArF) 半导体微电子先进制程光刻胶基体聚合物单体
● 电子束 (EB) 及超紫外 (EUV) 先进光刻胶树脂共聚
● 高清晰度光学树脂、光波导器件与耐高温高折射率特种聚合物
● 包装规格：25公斤 纸板桶 / 铝箔防潮遮光内袋密封包装。
● 储存条件：储存于 2-8 °C 干燥、阴凉、通风良好的库房内，避光密闭冷藏保存。保质期 12 个月。
为水基/溶剂基体系提供配方优化支持
全面涵盖 REACH、FDA 和 GB 标准
准时交货率达99.8%，年产能1万吨保证
