产品型号：Sinomer® HAMA
化学名称：甲基丙烯酸-3-羟基-1-金刚烷酯 (3-Hydroxy-1-methacryloyloxyadamantane / HAMA)
CAS 编号：115372-36-6
分子式：C14H20O3
分子量：236.31 g/mol
产品概述：Sinomer® HAMA (CAS 115372-36-6) 是 193nm ArF 浸没式光刻胶树脂中不可或缺的极性调节单体。分子中刚性金刚烷骨架维持高耐刻蚀性与高 Tg，侧链羟基 (-OH) 提供适度的亲水极性，在提升光刻胶与硅片/底层抗反射涂层 (BARC) 结合力的同时，精确调控显影过程中四甲基氢氧化铵 (TMAH) 碱液的润湿溶出速率，杜绝浮渣 (Scum) 缺陷。
| 外观性状 | 白色结晶粉末 (White powder / crystal) |
| 纯度指标 (HPLC) | ≥ 98.0 % (电子级 ≥ 99.0%) |
| 水分含量 | ≤ 0.1 % |
| 灰分含量 | ≤ 0.05 % |
| 金属离子杂质 | ≤ 10 ppb |
● 精确调控碱液显影溶出速率：极性羟基改善亲水润湿性，有效抑制显影微纳浮渣缺陷。
● 强硅片底材附着力增进：羟基与无机硅基底表面形成牢固结合，防止微纳线条倒塌。
● 保持优异的抗干法刻蚀性能：高刚性金刚烷环维持光刻胶整体卓越的耐刻蚀强度。
● 193 nm ArF 浸没式与干式光刻胶基体树脂关键亲水极性单体
● 极紫外 (EUV) 先进微纳光刻感光树脂共聚单体
● 高端半导体封装光刻胶与高折光光学材料
● 包装规格：25公斤 纸板桶 / 铝箔复合防潮袋装。
● 储存条件：储存于干燥、清洁、阴凉通风库房内密闭避光冷藏保存。保质期 12 个月。
为水基/溶剂基体系提供配方优化支持
全面涵盖 REACH、FDA 和 GB 标准
准时交货率达99.8%，年产能1万吨保证
