产品型号：Sinomer® ECHMA
化学名称：甲基丙烯酸-1-乙基环己酯 (1-Ethylcyclohexyl Methacrylate / ECHMA)
CAS 编号：274248-09-8 / 174548-81-7
分子式：C12H20O2
分子量：196.29 g/mol
产品概述：Sinomer® ECHMA (CAS 274248-09-8) 是一种含有 1-乙基环己基结构的单官能团甲基丙烯酸酯单体。作为 ArF (193nm) 及 KrF (248nm) 光刻胶共聚树脂的重要调节单体，其环己烷脂环结构提供优良的抗等离子体刻蚀保护和高玻璃化转变温度，同时 1-位乙基叔酯基团具备可控的酸解脱保护活性，有效调控光刻胶的溶解反差与显影清晰度。
| 外观性状 | 无色透明液体 (Colorless transparent liquid) |
| 纯度指标 (GC) | ≥ 98.0 % |
| 密度 (参考值) | 0.96 g/cm³ |
| 沸点 (参考值) | 246.3 ℃ |
| 水分含量 | ≤ 0.05 % |
● 良好的抗干法刻蚀性能：脂环六元环提供优良的刻蚀保护，提高图案深宽比稳定性。
● 可控酸敏解离特性：与金刚烷单体协同共聚，精确调控曝光区域显影液溶出速率。
● 改善涂膜均匀性与附着力：提高光刻胶在硅片及抗反射涂层上的旋涂平整度。
● 193 nm / 248 nm 先进半导体集成电路光刻胶树脂合成单体
● 微电子绝缘层与高精密度感光微纳结构成型光刻胶
● 光学级透明高耐候特种聚合物改性
● 包装规格：25公斤 塑料桶 / 200公斤 桶装。
● 储存条件：储存于阴凉干燥通风库房内密闭避光冷藏保存。保质期 12 个月。
为水基/溶剂基体系提供配方优化支持
全面涵盖 REACH、FDA 和 GB 标准
准时交货率达99.8%，年产能1万吨保证
