产品型号：Sinomer® ECPMA
化学名称：甲基丙烯酸-1-乙基环戊酯 (1-Ethylcyclopentyl Methacrylate / ECPMA)
CAS 编号：266308-58-1 / 266308-54-3
分子式：C11H18O2
分子量：182.26 g/mol
产品概述：Sinomer® ECPMA (CAS 266308-58-1) 是一种具有五元环烷基叔酯结构的特种甲基丙烯酸酯单体。由于五元环张力适中，其 1-乙基环戊基在微量光酸作用下的脱保护活化能低于六元环和金刚烷基团，能够显著提高光刻胶的感光灵敏度并降低曝光后烘烤 (PEB) 温度敏感性，是 193nm 光刻胶配方中实现超高分辨率的关键功能单体。
| 外观性状 | 无色透明液体 (Colorless transparent liquid) |
| 纯度指标 (GC) | ≥ 98.0 % |
| 密度 (参考值) | 0.98 g/cm³ |
| 沸点 (参考值) | 228.4 ℃ |
| 水分含量 | ≤ 0.05 % |
● 超高光酸敏脱保护反应速率：五元环叔酯解离活化能低，显著提升光敏速度并降低曝光剂量。
● 降低后烘烤 (PEB) 敏感度：减小酸扩散距离，实现极高的线宽控制精度与图形垂直度。
● 优良的溶解性与成膜性：与各类光刻溶剂 (PGMEA/EL) 互溶性极佳，旋涂缺陷少。
● 193 nm (ArF) 先进芯片制程化学放大正性光刻胶树脂核心单体
● 超微纳干涉光刻与高密度微电子封装感光材料
● 特种电子化学品中间体与精密感光功能树脂
● 包装规格：25公斤 塑料桶 / 200公斤 桶装。
● 储存条件：储存于 2-8 °C 干燥阴凉库房内，避光密闭冷藏保存。保质期 12 个月。
为水基/溶剂基体系提供配方优化支持
全面涵盖 REACH、FDA 和 GB 标准
准时交货率达99.8%，年产能1万吨保证
