产品型号：Sinomer® MCHMA
化学名称：甲基丙烯酸-1-甲基环己酯 (1-Methylcyclohexyl Methacrylate / MCHMA)
CAS 编号：76392-14-8 / 187884-37-3
分子式：C11H18O2
分子量：182.26 g/mol
产品概述：Sinomer® MCHMA (CAS 76392-14-8) 是一种具有 1-甲基环己基结构的单官能团甲基丙烯酸酯单体。作为微电子化学放大光刻胶的重要共聚组分，其脂环结构提供良好的耐刻蚀保护，1-位甲基叔酯基团具备酸催化解离活性，能有效调控共聚物在显影溶剂中的溶解行为，提高光刻胶的成膜均匀性与纳米微细图形的线条边缘平整度。
| 外观性状 | 无色透明澄清液体 (Colorless transparent liquid) |
| 纯度指标 (GC) | ≥ 98.0 % |
| 密度 (参考值) | 0.96 g/cm³ |
| 沸点 (参考值) | 226.5 ℃ |
| 水分含量 | ≤ 0.05 % |
● 良好的抗等离子体刻蚀保护：环己基结构提供优良的耐干法刻蚀性能。
● 可控的酸催化解离反应性：优化光刻胶在曝光与未曝光区域的溶解度差异对比度。
● 优良的溶剂相容性与低缺陷成膜：旋涂成膜平整致密，微泡与针孔缺陷极少。
● 193 nm / 248 nm 先进集成电路制造光刻胶成膜树脂合成
● 微电子感光微纳结构与光电传感器保护层
● 光学透明特种高耐候聚合物改性单体
● 包装规格：25公斤 塑料桶 / 200公斤 桶装。
● 储存条件：储存于阴凉干燥通风库房内密闭避光冷藏保存。保质期 12 个月。
为水基/溶剂基体系提供配方优化支持
全面涵盖 REACH、FDA 和 GB 标准
准时交货率达99.8%，年产能1万吨保证
